HD500
HD500 - HD Seriyasının yeni Kompozit İon Örtük Avadanlığı
Unikal Yan Aşındırma
√ Yanal aşındırmada görkəmli vahidlik
√ Əla aşınma örtüyü və rahat təmir
Kompozit HiPIMS Maqnetron Püskürtmə
√ DC + HiPIMS MS mənbələri ilə təchiz olunmuş bu cihaz, Nb, BC, W, V və s. kimi odadavamlı metalların çökdürülməsi üçün enerji tələblərini ödəyərkən yüksək çökmə sürətini təmin edir və demək olar ki, bütün materialları çökdürməyə qadirdir.
Plazma ilə optimallaşdırılmış çoxqövslü mənbə
√ 6 dairəvi çoxqövslü hədəf mənbəyindən ibarət 3 qrupla təchiz olunmuş gizli qövs başlatma mexanizmi etibarlıdır və saxlanılması asandır.
√ Çox elementli və çox qatlı nazik təbəqə çöküntüsünə asanlıqla nail ola bilər.
√ Optimallaşdırılmış plazma çoxqövslü mənbəyi daha hamar nazik təbəqə səthini təmin edir.
√ Hədəf material istifadə nisbəti olduqca yüksəkdir.
Çoxlu Çökdürmə Texnologiyası Platformaları
√ DC MS + HiPIMS MS + çoxqövslü ion örtük daxil olmaqla eyni platformada birdən çox nazik təbəqə çökmə texnologiyasını həyata keçirin və eyni dəstdə tək, kompozit və qarışıq örtük metodlarını tətbiq edə bilərsiniz.
| Ad | Parametr |
| Örtük texnologiyası | Yeni kompozit örtük texnologiyası |
| Oyma | Yan ion mənbəyi (isti filament) |
| Çoxqövslü mənbələr (sayı) | 6 |
| Maqnetron katodları (sayı) | 1 |
| Avadanlıq ölçüsü (mm) | uzunluq 3400*en 1600*hündürlük 2600 |
| Kamera həcmi (m³) | 0.7 |
| Effektiv örtük sahəsi (mm) | Ф410*400 |
| Maksimum işləmə temperaturu (℃) | 700 |
| Yük tutumu (ağacların sayı) | 5 |
| Bıçaq yükləmə (APMT1135) | 6000 ədəd |
| Çubuq bıçağının yükləmə qabiliyyəti (D4*50L) | 1800 ədəd |
| Maksimum yükləmə çəkisi (KG) | 300 |
| Şaft diametri | F130 |
| Proses müddəti | AlTiN：6~8h |
